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POLOS® SPIN150X 基材旋涂機(jī) PTFE 高級版
POLOS® SPIN150X 基材旋涂機(jī) PTFE 高級版
POLOS® SPIN150x是一種多功能、高質(zhì)量的基材旋涂機(jī)，由PTFE制成。它專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)。
可以同時實(shí)現(xiàn)臺式（Table top）和嵌入式（In-deck）版本，用于手動或自動（可選）化學(xué)藥劑分配。
適用于涂層、清潔、沖洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI 及其他工藝。
POLOS® SPIN150X 基材旋涂機(jī) PTFE 高級版
腔室規(guī)格:
- 最大支持6英寸（150毫米）晶圓
- 最大支持4英寸×4英寸（100毫米）基板
- 材質(zhì): PTFE
硬件規(guī)格:
- 液體過濾器
- 具有特殊的外殼和排水設(shè)計(jì)，可在現(xiàn)場輕松切換臺式和嵌入式型號.
- 配備中心注射架，用于安裝注射器或分配噴嘴
- 蓋鎖和真空傳感器確保用戶安全
-大型（可拆卸）觸摸顯示屏
- USB 端口，用于在 USB 驅(qū)動器上存儲配方和進(jìn)行軟件更新
- 8 I/O 端口
-能夠定義電機(jī)歸零位置，便于在機(jī)器人控制/自動化環(huán)境中進(jìn)行集成
-通過集成步進(jìn)電機(jī)實(shí)現(xiàn)自動開蓋和關(guān)蓋.
驅(qū)動單元規(guī)格:
- 采用間接無刷驅(qū)動單元
- 最高轉(zhuǎn)速可達(dá)12,000 RPM（取決于基板/卡盤）
- 具有高加速度和高精度
- 加/減速范圍為1-30,000 RPM
- CW、CCW旋轉(zhuǎn)和Puddle選項(xiàng)
隨附旋涂儀卡盤和適配器
- 隨附1個A-V36-S45-PTFE-HD真空卡盤.
- 隨附1個D-V10-S50-PTFE-HD碎片適配器.
- 由FCA SPS-Europe, The Netherlands提供
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